爱德华EXT75DX涡轮分子泵
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作者:进口真空泵代理商
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发布时间: 2024-08-19
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EXT涡轮分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空
抽速:220 m³/h极限真空: mbar电机功率:0.01 Kw
额定电压: V噪声等级:50 dB(A)产品净重: Kg
特点和组成：
Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至最低。
产品应用
• 质谱分析、高能物理
• 电子显微镜
• 研发、工业
Edwards EXT75DX涡轮分子泵技术数据：
| 进气口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 出口法兰 | DN16NW |
| 排气/吹扫口 | 1/8 英寸 BSP |
| 抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) |
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| N2 | 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) |
| He | 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) |
| H2 | 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) |
| 压缩比 |
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| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 推荐前级泵* | RV5/nXDS6i |
| 最大连续进气口压力（轻气体泵送）† |
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| 水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度） | 2 × 10-2 mbar |
| 强制空气冷却，35 °C 环境温度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋转速度 |
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| 标称旋转速度 | 90000 rpm |
| 待机旋转速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之间变化
（63000 rpm 默认） |
| 可编程功率限制设置 | 可在 50 至 120W 之间变化（默认为 80W） |
| 模拟输出 | 转速；
功耗；泵温度；控制器温度 |
| 到 90% 速度的启动时间 | 110 s ‡ |
| 极限压力 (ISO/CF) |
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| RV 前级泵 | <5 x 10-9/5 x 10-10 |
| 隔膜前级泵 | <5 x 10-8/5 x 10-9 |
| 冷却方法# | 强制空气/水 |
| 强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35 °C |
| 最小冷却水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水温范围 | 10 - 20 °C |
| 最高进气口法兰温度 | 100 °C |
| 操作姿态 | 垂直且竖直，直到
水平 |
| 1 米处的噪音级别 | <50 dB(A) |
| 泵可以承受的最大磁场 | 5 mT |
| 推荐控制器 | TIC100 |
| 静止电功率 | 10 W |
