抽速:1012 m³/h
极限真空:0.0067 mbar
电机功率:3.7+7.5 Kw
额定电压:220-240/380-415 V
噪声等级: dB(A)
产品净重:405 Kg
无油、干燥、清洁;在低温领域的均热化;大抽速,可以缩短排气时间;优良的耐腐蚀性;低噪音、低震动
● 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉● 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等