日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修特点
适用于大型成膜装置、太空舱等。
拥有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (单位:mm)
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修标准规格
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 28,000 |
氢气 | 43,000 |
氩气 | 23,000 |
水 | 70,000 |
到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.7×103(20) |
氢气 | 7.4×102(5.6) |
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 7.8×108(5.9×106) |
氢气 | 1.5×107(1.1×105) |
冷却降下时间
(电力循环) | min(Hz) | 240/200(50/60) |
吸气口法兰 | VG-750 |
压缩机装置 | C30VR×2 |
质量 | Kg | 175.0 |
*维护间隔：16,000小时
U22H,U30是在贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。
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