油扩散泵
ULK 系列

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本爱发科油扩散真空泵  ULK 系列维修保养

特点

• 設計為高臨界背壓。

• 單台可以抽到〜10^-2 Pa (10^-4 torr)，性能非常穩定。

• 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)

• 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)

• 具備輔助泵側的油液反流防止機構日本爱发科油扩散真空泵  ULK 系列维修保养
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