爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修
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作者:进口真空泵代理商
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发布时间: 2024-06-24
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罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。
PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修
罗茨泵
PRC 系列
罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。
PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。
爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修
特点
无油
泵壳室无润滑油，水蒸气、溶剂等的蒸汽稳定。
采用罐式马达
采用罐式马达、可以没有大气压/真空的机械。不用担心漏油、可以在清洁的环境中使用。
耐腐蚀性优异的表面处理
主要部品表面实施了硬度高耐腐蚀性优异的耐酸铝处理、抑制了泵内部的腐蚀伤害。
排气时间缩短有效的大气压驱动型（选项：变换器）
可以和粗制泵同时启动，比标准型的排气时间更短。爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修
用途
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冻结干燥、真空脱气
分析机器、检漏装置
气体置换、充填、真空断热
热处理炉、溶解炉
其他各种真空装置
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日本爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修PRC003A PRC006A PRC012A PRC018A
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式样
型式 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A |
| 大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） |
| 大吸入压力 | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 |
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 |
| 大容许压力差 | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 |
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 |
| 到达压力 *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 |
| 驱动可能圧力 | Pa | 〜1.0 x 105（大气压驱动型） |
| 电机出力（极数） *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） |
| 使用油 *3 | ULVOIL R-4 |
| 所要油量 | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水 | 一時側圧力 | MPa | 0.3 |
| 出入口差圧 | MPa | 0.01以上 |
| 冷却水量 | L/min | 2 | 3 |
| 冷却水温度 *4 | ºC | 5 〜 30 |
| 吸气口径 JIS-B-2290 | VG80相当 | VG100相当 | VG150相当 |
| 排气口径 JIS-B-2290 | VF80相当 | VF100相当 |
| 外形尺寸（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 |
| 质量 *5 | kg | 51 | 86 | 118 | 150 |
| 标准辅助泵 *6 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 |
| 选项 | 大气压驱动（变换器）、润滑油、润滑室排气端口 |
| 注) | 本式样表、采用SI单位系。非SI单位系的換算请参照如下。
到达压力：4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr 圧力：0.05MPa = 0.5kgf/cm2
PRC 系列不能对应耐圧防爆、安増防爆。 |
| *1 | 皮拉尼真空计测定（辅助泵、标准使用油）。麦克劳德真空计4.0×10-2Pa。 |
| *2 | AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、3相 |
| *3 | 合成油选项：R-7000、氟油：可以选择J25F。 |
| *4 | 冷却水温低时、请在不结露环境下使用。 |
| *5 | 标准泵的値。（选项：包含变换器） |
| *6 | 罗茨泵的性能随标准辅助泵的性能变化。上述数据是配合辅助泵时的值。 |
