英国爱德华涡轮分子真空泵STPA1603C ISO200F 进气口

概述

小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能，满足新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵

应用

• 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

• 溅射

• 离子注入源，射束线泵送端点站

• MBE

• 扩散

• 光致抗蚀剂脱模

• 晶体/晶膜生长

• 晶片检查

• 负载锁真空腔

• 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

• 高能物理：射束线、加速器

• 放射线应用：融合系统、回旋爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵

  功能和优势

  先进的转子设计  

• 改进的性能

• 更高的气体吞吐量

• 高度可靠

• 免维护

• 可用于严苛制程

• 5 轴磁悬浮系统  

• 无污染

• 低振动

• 防腐蚀  

• 可用于严苛制程

• 使用寿命延长

• 紧凑型设计  

• 占地面积小

• 半机架控制器

• 先进的控制器设计 

• 自动调整

• 自行诊断功能

• 直流电机驱动

• 无电池运行

  技术数据

  入口法兰	ISO200F
  出口	KF40
  吹扫口	KF16
  水冷却接头	PT1/4
  抽速
  N2	1600 ls-1
  H2	1200 ls-1
  压缩比
  N2	>108
  H2	>7 x 103
  加热时的极限压力	10-7 Pa
  大允许前级压力	266 Pa
  	(2 Torr)
  大氮气吞吐量	2500 sccm
  额定速度	36500 rpm
  启动时间	7 分钟
  固定位置	任意
  水冷却流量	2 lmin-1
  温度	5-25 °C
  压力	0.3 MPa
  推荐的吹扫气体流量	20 sccm
  输入电压	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.85 kVA
  泵重量	35 kg
  控制器重量	9 kg

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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。