英国爱德华STP1003 、STP1003C DN200CF 进气口

概述

Edwards STP1003 是新型的涡轮分子泵，可用于先进的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能，大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修

应用

• 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

• 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

• 溅射

• 离子注入源，射束线泵送端点站

• MBE

• 扩散

• 光致抗蚀剂脱模

• 晶体/晶膜生长

• 晶片检查

• 负载锁真空腔

• 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

• 高能物理：射束线、加速器

• 放射线应用：融合系统、回旋

  功能和优势

  先进的转子技术  

• 大的制程灵活性

• 无油

• 低振动

• 高度可靠

• 免维护

• 可用于严苛制程（C 型）

• 使用寿命延长

• 先进的控制器设计  

• 自动调整

• 自行诊断功能

• 直流电机驱动

• 无电池运行

• 紧凑型设计  

• 占地面积小

• 半机架控制器英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修

  技术数据

  入口法兰	ISO200F
  出口	KF40
  吹扫口	KF10
  抽速
  N2	1000 ls-1
  H2	800 ls-1
  压缩比
  N2	>108
  H2	>105
  加热时的极限压力（VG/ISO 法兰）	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  加热时的极限压力（ICF 法兰）	10-8 Pa
  	(10-10 Torr)
  大连续出口压力	13 Pa
  	(0.1 Torr)
  额定速度	35000 rpm
  启动时间	6 分钟
  高入口法兰温度	120 °C
  输入电压	100 至 120 (± 10) V 交流或
  	至 240 (± 10) V 交流
  启动时的功耗	0.8 kVA
  泵重量	31 kg
  控制器重量	9 kg

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