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英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C
来源: | 作者:进口真空泵代理商 | 发布时间: 2024-06-25 | 69 次浏览 | 分享到:

英国爱德华涡轮分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

概述

Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能，大的制程灵活性。英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C
  
STP-L301(C) 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C

应用

  • 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

  • 溅射

  • 离子注入源，射束线泵送端点站

  • MBE

  • 扩散

  • 光致抗蚀剂脱模

  • 晶体/晶膜生长

  • 晶片检查

  • 负载锁真空腔

  • 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

  • 高能物理：射束线、加速器

  • 放射线应用：融合系统、回旋

 

功能和优势

先进的转子技术  

  • 大的制程灵活性

  • 无油

  • 低振动

  • 高度可靠

  • 免维护

先进的控制器设计  

  • 自动调整

  • 自行诊断功能

  • 直流电机驱动

  • 无电池运行

紧凑型设计  

  • 占地面积小

  • 半机架控制器

低振动  

  • 内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。

 

技术数据

入口法兰ISO100，CF100
出口KF25
吹扫口KF10
抽速
  N2260 ls-1
  H2290 ls-1
压缩比
  N2>108
  He5 x 105
  H22 x 104
加热时的极限压力（VG/ISO 法兰）6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力（ICF 法兰）10-8 Pa

(10-10 Torr)
大允许进气口压力（环境空气冷却）6.7 x 10-2 Pa

(5 x 10-4 Torr)
大连续出口压力（环境空气冷却）13 Pa

(0.1 Torr)
额定速度48000 rpm
启动时间3 min
高入口法兰温度120 °C
输入电压100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
启动时的功耗0.55 kVA
泵重量13 kg
控制器重量7 kg

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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。