Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
技术数据
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm |
| 1717 l min-1 |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr |
| 1 Pa |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 |
| 重量 | 240 kg |
| 极限功率输入 | 2.7 kW |
| 电机额定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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