安捷伦科技拥有专利的涡旋泵技术产品线，能提供经济的无油真空，并可以很方便地集成到现有系统中，因而适合多种研发和工业应用。该泵利用简单的双涡旋盘式结构产生真空，即一个嵌套涡壳围绕另一个旋转，产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵，并被转移和压缩至中央，然后在中央处排放，从而产生低极限压力和大抽速。我们的干式涡旋泵具有耐用、可靠、易于维护的特点,是许多高标准的理想初级泵。

IDP-3 干式涡旋泵在 60 L/min 的抽速下运行。