ACP 系列中的风冷多级罗茨泵
ACP 系列的多级罗茨泵是专为无油无颗粒的应用工艺而设计，压力范围在大气压到 3 · 10-2 hPa 之间。在用于残余气体分析系统、电子显微镜或 UHV 系统中时，该气冷泵是旋片泵的最佳取代产品。它们可作为涡轮分子泵的理想粗真空泵。
G 型号系列真空泵是专为传输少量腐蚀性气体而特殊研发设计的。该版本的ACP系列真空泵适用于传送腔、工艺监测系统及离子束应用中。 ACP 系列产品中，CV 型号的风冷真空泵具有高达 1,000 g/h的水蒸汽容量。该系列产品是专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计的。

应用
Load-lock
传送腔
溅射
PVD
计量