概述

nXDS15i 是下一代无油的干式涡旋泵，可在应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。 气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了新的端部密封，延长了端部密封更换的时间间隔。 具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 可进行现场维修。

用途

• 一般清洁泵送应用

• 电子扫描显微镜 - SEM

• 射束线和高能物理

• 前级涡轮泵

• 速离心机

• 覆层

• 低温学

• 脱气/硫化 - 油，环氧树脂

• 蒸馏/萃取/过滤

• 冷冻干燥

• 熔炉

• 凝胶体干燥

• 实验室工作台上真空

• 激光、气体回收和再循环

• 氦检漏仪

• 负载锁和传输腔

• 稀有气体再循环

• 稀有气体回收

• 冷冻制造

• 
  

• 旋转离心蒸发器

• SEM/FIB（离子束维修）

• 溶剂回收

• 表面科学仪器

 

nXDS15i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A73701983

特性与优势

• 真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染

• 无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

• 简单的单侧滚轴布置电机和轴承设计相结合，只需低程度的工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

• 改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本

• 的接口提供了传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视

数据

标称旋转速度	1800 rpm
排量	17.1 m3h-1  /  10.1 ft3min-1
峰值抽速	15.1 m3h-1  /  8.9 ft3min-1
极限真空（总压力）	0.007 mbar  /  0.005 Torr
待机旋转速度	1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示）	1%
转速时的抽速	9.9
大连续进气口压力	200 mbar
电机功率（一相）	300 W
电源连接器（1 相）	IEC EN60320 C13
保险丝	10A，250Vac rms
重量	25.2 kg  /  56 lb
入口法兰	NW25
排气口法兰	NW25
噪音级别	52 dB(A)
入口法兰处抗振性	< 4.5 mms-1   (rms)
密封性（静态）	< 1x10-6 mbar ls-1
工作温度范围	10 至 40 °C  /  41 至 104 °F