Edwards EH250罗茨真空泵概述:
ATEX 泵已经过鉴定,可以在潜在易爆气体环境中使用。
EH250T160 机械增压泵已经过鉴定,可以在II 2G c IIB T160 类别的区域中使用。机械增压泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。
ATEX EH 机械增压泵在供货时具有 ATEX 分类,根据应用可能作为泵系统的一部分或是单独使用。
Edwards EH250罗茨真空泵应用:
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光
Edwards EH250罗茨真空泵功能和优势:
适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
Edwards EH250罗茨真空泵技术数据:
| 容积(工作容积) |
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| 50Hz | 310 m3h-1/185 ft3min-1 |
| 60Hz | 375 m3h-1/220 ft3min-1 |
| 使用后备泵时的有效抽取速度 |
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| E1M40 或 E2M40 | 240 m3h-1/141 ft3min-1 |
| E1M80 或 E2M80 | 274 m3h-1/161 ft3min-1 |
| 泵的压差 |
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| 50Hz | 0-180 mbar/0-140 Torr |
| 60Hz | 0-150 mbar/0-115 Torr |
| 入口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | ISO40 |
| 转速 ‡ |
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| 50Hz | 0-2900 rpm |
| 60Hz | 0-3500 rpm |
| 连续入口操作压力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
| 最大出口压力 | 1000 mbar/760 Torr |
| 推荐的后备泵 | GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80 |
| 电源电压,3 相 |
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| 50Hz | 220 – 240V/380 – 415V |
| 60Hz | 230V/460V |
| 马达功率 |
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| 碳氢化合物 | 2.2kW/3hp |
| PFPE | 2.2kW/3hp |
| ATEX | 2.2kW |
| 防爆型 | 3 相 |
| 环境温度范围 |
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| 操作 | 5 至 40°C/40 至 104°F |
| 存储 | -10 至 80°C/14 至 176°F |
| 最大操作湿度 | 90% RH |
| 推荐用油 |
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| 标准型 | Ultragrade 20 |
| PFPE 版本 | Fomblin YVAC 16/6 |
| 油容量 |
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| 联结器箱 | 1.5 升/1.6 qt |
| 轴杆封口储油器 | 0.125 升 |
| 重量* | 69 kg/152 lb |