安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为唯一能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
技术指标
<table ms-rteTable-Agilent" summary="" style="box-sizing: border-box;border-spacing: 0px;width: 705px;max-width: 100%;margin-bottom: 2ex;padding: 0.03in 0.03in 0.04in;color: rgb(32, 32, 32);font-family: robotoregular, Arial, Helvetica, sans-serif;white-space: normal;border: 1px solid black !important;outline-style: solid !important">
| StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二极泵 |
| 氮气名义抽速 (*) (L/s) | 50 | 53 | 55 |
| 在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 最大启动压力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 |
| 极限真空 | 低于 10-11 |
| 抽气口法兰 | 4.5 英寸 CFF (NW 63) AISI 304 ESR SST |
| 最高烘烤温度 (℃) | 350 |
| 重量,kg(磅) | 18 (39) |
(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试