HS-20 扩散泵
低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多种尺寸,具有高速、低极限压力、高抽气量、前级耐压高、低返油的特点。该 HS 系列扩散泵标准配置过热保护开关和可选的速冷盘管。16 英寸至 35 英寸泵附带油位观察窗/注油和放油组件,并提供 ASA 或 ISO 法兰。
技术指标
抽气速率,操作范围 抽气速率,AVS4.1 (1963) | 10000 L/s 空气,12500 L/s 氦气和 H2 17500 L/s 空气 |
| 最大抽气量 | 在工作范围内为 12.5 T L/s (16.7 mbar L/s),0.01 Torr 时为 18 T L/s (23 mbar L/s) |
| 操作范围 | 1.3 x 10-3 至 5 x 10-8 torr(1.7 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar) |
| 最大前级耐压 | 无负载:0.65 torr (0.85 mbar) 满载:0.55 torr (0.72 mbar) |
| 推荐前级泵 | ɛ100 cfm (170 m3/h) |
| 返油率,标准冷却帽 | 低于 1.5 x 10-3 mg/cm2/min |
| 预热时间 | 45 分钟 |
| 冷却时间 | 85 分钟 |
| 注油量 | 5 夸脱 (4.7 L) |
| 电气要求 | 3 相,50/60 Hz,240/415/480 VAC |
| 泵功率 | 12000 W |
| 冷却水要求 | 在 60-62.22℃ (15-26℃) 时,抽速为 1.5 gpm (300 L/h) |
| 连接水冷 | 1/4 英寸 FPT 三通 |
| 推荐泵油 | DC-704 |