组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

特长

● 无油、干燥、清洁
● 在低温领域的均热化
● 大抽速，可以缩短排气时间
● 优良的耐腐蚀性
● 低噪音、低震动

用途

◆ 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、
◆ 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

技术参数：