
概述
nEXT是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO或 CF入口法兰。nEXT 泵将我们的成熟轴承技术(油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承)以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起,以提供改进的抽速和压缩比,同时提供真正的用户可维护性。 它们采用 24V 到 48V 的直流无传感器电机,具备内置的驱动,完全兼容我们的 TAG 和 TIC 控制器系列。 该分子泵有 80W 和 160W 两种最大预设功率可选。前者适用于我们的 100W TIC 控制器,也是泵送氩气时的建议选择,但该功率下达到完全运行速度的加速时间比较长。
基本的泵系统可能需要 nEXT 泵、TAG 或 TIC 控制器,空气或水冷却附件以及合适的前级泵。
功能和优势
最新的转子设计提高了性能,可以实现卓越的抽速和压缩比
最终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修,无需复杂的工具或大卸...您就可以完成!
设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化
与 Edwards TIC 涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器
符合 RoHS 并获得 CSA/UL 认可
技术数据
| nEXT240D | nEXTt300D | nEXT400D |
入口法兰 | DN100ISO-K,DN100CF | DN100ISO-K,DN100CF | DN160ISO-K,DN160CF |
出口法兰 | DN25NW | DN25NW | DN25NW |
抽速 |
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N2 | 240 ls-1 | 300 ls-1 | 400 ls-1 |
He | 230 ls-1 | 340 ls-1 | 390 ls-1 |
H2 | 165 ls-1 | 280 ls-1 | 325 ls-1 |
压缩比 |
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N2 | >1 × 1011 | >1 × 1011 | >1 × 1011 |
He | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 |
H2 | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 |
针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力 | <6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar | <6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar | <1 x 10-8/<1 x 10-10 mbar |
推荐前级泵* | RV12/nXDS10i | RV12/nXDS10i | RV12/nXDS10i |
排气口 | 1/8 英寸 BSP 母头 | 1/8 英寸 BSP 母头 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
吹扫口 | 1/8 英寸 BSP 母头 | 1/8 英寸 BSP 母头 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
最大连续入口流量(氮气)† |
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水冷却(15°C 的水,40°C 的环境温度) | 45 sccm | 95 sccm | 105 sccm |
强制空气冷却,35°C 环境温度 | 30 sccm | 115 sccm | 90 sccm |
泵旋转速度 |
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标称旋转速度 | 60000 rpm | 60000 rpm | 60000 rpm |
待机旋转速度 | 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm) | 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm) | 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm) |
可编程功率限制设置 | 可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W) | 可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W) | 可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W) |
到 90% 速度的启动时间 | 115s‡ | 145s‡ | 180s‡ |
模拟输出 | 泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度 | 泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度 | 泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度 |
冷却方法# | 强制空气/水 | 强制空气/水 | 强制空气/水 |
强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35°C | 5 - 35°C | 5 - 35°C |
最小冷却水流速(15°C 的水) | 15 l h-1 | 15 l h-1 | 15 l h-1 |
水温范围 | 10 - 20°C | 10 - 20°C | 10 - 20°C |
最高入口法兰温度 | 75°C | 80°C | 70°C |
操作姿态 | 垂直且竖直,直到 水平 +/- 2° | 垂直且竖直,直到 水平 +/- 2° | 垂直且竖直,直到 水平 +/- 2° |
1 米处的噪音级别 | <45 dB(A) | <45 dB(A) | <45 dB(A) |
泵可以承受的最大磁场 | 5 mT | 5 mT | 5 mT |
推荐控制器 | TIC200 分子泵和仪器控制器 | TIC200 分子泵和仪器控制器 | TIC200 分子泵和仪器控制器 |
静止电功率 | 通常为 20W | 通常为 20W | 通常为 20 W |