概述
Edwards 蒸汽增压泵以介于机械增压泵与扩散泵之间的压力更高抽速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本领域经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和现代化计划并汲取 OEM 和最终用户的意见,加之其固有的可靠性、易用性和对各种不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵广泛应用于冶金和镀膜行业及其他专门领域。
应用
真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动
功能和优势
高工作压力下实现极高抽速
工作压力下实现极高吞吐量
快速转换实现出色的抽气速度
已经过 40 多年行业实践检验
出色的可靠性
可以取代 Stokes 16" 液环射流增压泵
锅炉填注口便于进行清洁
技术数据
| 18B4B | 30B5M |
抽速(空气)(ls-1) | 4000 | 12500 |
最大吞吐量(mbar ls-1/Torr ls-1) | 100/75 | 300 / 225 |
临界前级压力(有 AP201 流体)(mbar/ Torr) | 2-2.6 /1.5-2 | 5.3-6 /4-4.5 |
推荐前级泵排量(m3h-1/ft3min-1) | 190/112 | 290/ 171 |
推荐的前级泵 | GXS450、E2M275 | GXS450、E2M275 |
推荐的液体 | Apiezon® AP201 | Apiezon® AP201 |
液体充填(l/qt) | 10 / 9.5 | 55/52 |
入口连接 | 387.4 PCD (Edwards) 上的 8x11mm 孔/ANSI 12 英寸/ISO320 | 686.0 PCD 上的 12 个 20.60 孔 |
前级连接 | 2 英寸管接头 (Edwards)/ANSI 4 英寸/ISO160 | 235.0 PCD 上的 4 个 16.70 孔 |
水接头 |
| 1 英寸 BSP |
加热器功率(kW/hp) | 6.0 /8 | 22.5 / 30 |
预热时间(mm) | 60 | 60 |
最小水流入口(20oC)(l h-1 / US gal min-1) | 375/ 1.8 | 2250/ 9.9 |
水封螺纹孔 | ½ 英寸 BSP |
|
重量(kg/ lbs) | 165/365 | 620/1367 |