TwisTorr 84 FS涡轮分子泵
Agilent TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证最佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性
创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统体积。
耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，最佳的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，最大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。
性能指标
|
|
|
|
|
抽速：
CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸 配置：KF 40 配置： |
N2：67 L/s
N2：56 L/s N2：49 L/s | |
H2：53 L/s
H2：40 L/s H2：36 L/s |
Ar：66 L/s
Ar：57 L/s Ar：44 L/s |
全转速气体流量（使用推荐的前级泵）
风冷 (35 °C)
水冷 (25 °C, 65 L/h) | N2：100 sccm
N2：100 sccm | Ar：70 sccm
Ar：70 sccm |
|
|
| 压缩比： | N2：≥ 1 × 1011 | He：2 × 106 | H2：5 × 104 | Ar：> 1 × 1011 |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) |
|
|
|
| 入口法兰 | CF 4.5 英寸（外径）
CF 2.75 英寸（外径） | ISO 63
KF40 |
|
|
| 前级管道法兰 | KF 16 NW |
|
|
|
| 转速 | 81000 rpm（驱动频率 1350 Hz） |
|
|
|
| 启动时间 | < 2 分钟 |
|
|
|
| 推荐的前级泵 | 机械：DS 40M-DS 102
干式泵：Agilent IDP-3，SH 110 |
|
|
|
| 工作位置 | 任意位置 |
|
|
|
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C |
|
|
|
| 空气相对湿度 | 0 至 90%（非凝缩） |
|
|
|
| 烘烤温度 | 入口法兰最高温度 120 °C（CFF 法兰） 入口法兰最高温度 80 ℃（ISO 法兰） |
|
|
|
| 润滑油 | 永久性润滑 |
|
|
|
| 冷却要求 | 风冷：
水冷： | 气流温度 +5 °C 至 +35 °C
冷却水温度：+15 °C 至 +25 °C
最低流速：65 L/h (0.30 GPM)
压力：2 至 4 bar（45 至 75 psi） |
|
|
| 噪音压力级别（全速运行时距离 1 m 处） | 40 dB(A) * |
|
|
|
| 储存温度 | -40 °C 至 +70 °C |
|
|
|
| 最高海拔 | 3000 m |
|
|
|
| 认证 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 |
|
|
|
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 63：
2.5 (5.5) | 泵 CFF 4.5 英寸：
3.5 (7.7) | 泵 CFF 2.75 英寸：
3.34 (7.35) | 泵 KF 40：
2.37 (5.22) |
