Turbo-V 2K-G涡轮分子泵
Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高氩气氛围下和温度极高的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业最佳泵解决方案。
特性
首款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
现有的最高性能、最紧凑的仪器
首个采用完全集成的方法最大程度提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
安捷伦 Profibus 接口
技术规格
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| 抽速： | N2：1600 L/s |
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| 压缩比： | N2：3 × 105 |
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| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10-8 mbar |
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| 入口法兰 | ISO 250F |
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| 前级管道法兰 | KF 40 NW |
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| 额定转速 | 33000 rpm |
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| 启动时间 | < 7 分钟 |
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| 推荐的前级泵 | > 40 m3/h |
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| 工作位置 | 任意位置 |
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| 操作环境温度 | +5 °C 至 +40 ℃ |
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电源
输入电压
输入频率 | 100–240 Vac
50-60 Hz |
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| 通讯接口 | 模拟 I/O
RS232/RS485
Profibus | 标准
标准
可选 |
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| 尺寸 | 高度
重量
直径 | 335 mm（13.18 英寸）
335 mm（13.18 英寸）
35 kg（77 磅） |
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