Turbo-V 3K-G涡轮分子泵
Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一样）不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高纯氩气氛围下和温度极高的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业最佳泵解决方案。
特性
市场上仅有的真正“一体化”系统
同类产品中抽速最高
无油、耐用、可靠
MTTF 超过 200000 小时
顶级转子设计大幅度降低了重量和机械应力
拥有专利的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
技术规格
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| 抽速： | N2：2200 L/s | He：1900 L/s | |
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| 压缩比： | N2：> 1 × 107 | He：6 × 103 | Ar：1 × 108 |
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| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10-8 mbar |
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| 入口法兰 | ISO 250F |
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| 前级管道法兰 | KF 40 NW |
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| 额定转速 | 31800 rpm |
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| 使用推荐前级泵，无气体负载的启动时间 | < 6 分钟 |
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| 前级压力 | < 0.5 mbar |
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| 推荐的最小前级泵 | > 60 m3/h（取决于气体流速要求） |
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| 工作位置 | 任意位置 |
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| 冷却要求 | 水 |
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| 重量 ISO (250) | 52 kg（114.63 磅） |
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