能发挥4型的低温泵的高排气特性。高排气速度对于排气效率与生产性提高都能做出贡献。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。1台压缩机可以支持4台低温泵同时运作。可以按照用途的不同进行设计、制作。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
标准低温泵 [6型]
CRYO-U6H
特点
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
| 排気速度(20℃) | 氮气 | L/s | 450 |
| 氢气 | 500 |
| 氩气 | 370 |
| 水 | 1,100 |
| 到达圧力 | Pa | 10-7 |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | 氩气 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢气 | 1.5×105 |
| 冷却降下时间 | min(50/60Hz) | 45/50 |
| 质量 | Kg | 14.5 |
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
常州扬州泰州南通南京启东海门如皋海门海安日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
如东宿迁徐州合肥芜湖杭州湖州温州台州衢州日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
绍兴金华宁波余姚福州厦门泉州深圳广州珠海日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
广州惠州通州桂林南宁南昌赣州武汉成都重庆日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
荆州太原兰州乌鲁木齐石家庄天津长春吉林日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆日本爱发科真空泵维修保养、标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
