特点輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。可以多台運行（大3台）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修
标准低温泵 [4型]
CRYO-U4H
特点
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修
| 排気速度(20℃) | 氮气 | L/s | 750 |
| 氢气 | 1,100 |
| 氩气 | 620 |
| 水 | 2,100 |
| 到达圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 氢气 | 1.1×102(0.8) |
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氢气 | 3.1×105(2.3×103) |
| 冷却下降时间 (电力循环) | min(Hz) | 80/70(50/60) |
| 吸气口法兰 | UVG-150,UFC-203 |
| 压缩机 | C10, C10AT, C10ES |
| 质量 | Kg | 19 |
*维护间隔：16,000小时
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