去除油滴(“烟雾”)
泵油蒸汽大大减少,减少污染,此外还需要定期补充泵油同样大大减少。
出色的降噪效果
当泵从大气压开始,低真空泵送期间和气镇操作期间,噪音最有效地降低。低频噪声特别降低。
可选择的采油方法(可选)
当被困油直接返回主泵单元并重新使用时,过滤器的使用寿命会缩短,可能会出现泵问题。
由于截留的油的回收取决于泵的运行条件,请向Ulvac咨询有关您的特定泵送任务的建议,并帮助确保组件的正确匹配。
与泵的简单连接
由于TM系列单元的连接端口与标准泵排气口相匹配,因此连接简单。(不包括VD601和VD901)
内部过滤器滤芯是可更换的滤芯
更换此滤芯非常简单。(将旧TM-3,4和4S型号的过滤器更换为筒式过滤器时需要使用适配器)
* 1务必使用尺寸合适的油雾捕集器,以匹配泵的抽速和正在抽空的腔室容积。
* 2 PVD系列,VD151和VD201的连接需要适配器。
* 3 TMX-1和TMX-2型号不能使用油回收。
* 4 TMX-1,TMX-2和TM-2(旧型号)设备无法转换为盒式过滤器。