■高抽速“ ●在接近大气压下的高抽速,抽气时间可大幅减少■低功耗 ●ECO-SHOCK技术实现低功耗(C型) ●极限压力下的功耗是行业 -超过0.6kW(LS120A-C)■噪音低
●内置消音器可达到61dB(A)以下的噪音水平■运行成本低 ●无轴封气体※L型可提供吹扫气体。■4种型号 ●泵送速度120~1200m3 / h级※带机械增压泵 ●型号可根据应用选择最佳抽速
特殊应用的2种类型 C类型:清洁工艺(LS *** AC) 特点:低功耗型(内置ECO-SHOCK) 应用:用于清洁工艺,如空气和N2 溅射/气相沉积/层压/负载锁具室/ TMP前级泵等 .L型:轻工艺(LS *** AL) 特点:轻工艺模型(具有表面处理和吹扫功能) 应用:用于蒸汽和挥发性液体药物等轻工艺 真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业用途等