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干式真空泵 LS系列
来源: | 作者:进口真空泵代理商 | 发布时间: 2024-08-09 | 51 次浏览 | 分享到:

特征

■高抽速“
  ●在接近大气压下的高抽速,抽气时间可大幅减少
■低功耗
  ●ECO-SHOCK技术实现低功耗(C型)
  ●极限压力下的功耗是行业 -超过0.6kW(LS120A-C)
■噪音低

  ●内置消音器可达到61dB(A)以下的噪音水平
■运行成本低
  ●无轴封气体
※L型可提供吹扫气体。
■4种型号
  ●泵送速度120~1200m3 / h级※带机械增压泵
  ●型号可根据应用选择最佳抽速

应用

特殊应用的2种类型
 C类型:清洁工艺(LS *** AC)
   特点:低功耗型(内置ECO-SHOCK)
   应用:用于清洁工艺,如空气和N2
        溅射/气相沉积/层压/负载锁具室/ TMP前级泵等
 .L型:轻工艺(LS *** AL)
   特点:轻工艺模型(具有表面处理和吹扫功能)
   应用:用于蒸汽和挥发性液体药物等轻工艺
        真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业用途等